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石英玻璃气体扩散与渗透性能 由于石英玻璃网络结构中有很多不规则的空隙，使许多气体有可能进行扩散和渗透，特点是原子直径比较小的气体如氦、氖、氢等在石英玻璃中渗透性比较大，而氮、氧等原子比较大,活度比较小的气体，即使在600-700oC温度下，在石英玻璃中渗透扩散是较低的，故石英玻璃可作10-5-10-6mmHg负压和加热情况下的操作器皿，可用在高温真空设备中。
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透明石英玻璃 |
不透明石英玻璃 |
| Na+ |
2×10-4 |
5×10-5 |
| Ca2+ |
2×10-8 |
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| Al3+ |
<10-12 |
<10-12 |
| Ag+ |
<10-5 |
<10-7 |
| 注：在1100oC下的扩散系数（单位为：cm2/秒） |
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20 |
900 |
| 透明石英玻璃 |
3.7×10-6 |
7.0×10-6 |
| 不透明石英玻璃 |
1.0×10-5 |
7.4×10-6 |
| 石英玻璃的透气常数K（×10-10cm3.mm/秒.cm2） |
| 气体 |
透气常数K |
| 200oC |
400oC |
600oC |
700oC |
800oC |
900oC |
1000oC |
| 氦 |
1.39 |
6.15 |
16.4 |
21.9 |
28.5 |
36.2 |
45.4 |
| 氢 |
0.022 |
0.37 |
1.43 |
2.52 |
4.25 |
6.40 |
10.00 |
| 重氢 |
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17 |
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| 氖 |
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2.8 |
4.2 |
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| 氩 |
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<10-15 |
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| 氧 |
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<10-15 |
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| 氮 |
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<10-15 |
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产品质量检测执行标准：
GB9657-88 半导体用透明石英玻璃； GB9658-88 光源及真空仪表用透明石英玻璃 |
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